（华盛顿4日讯）半导体设备巨头艾司摩尔（ASML）推出新一代高数值孔径极紫外光（High NA EUV）曝光设备，其价格昂贵程度令人咋舌，最高达3.7亿美元（约16.66亿令吉），堪比三架F-35战斗机的价格，但这台天价机器却隐藏致命弱点，就是地震和牛只放屁。

华尔街日报专栏作家柯恩（Ben Cohen）跟随ASML工程师霍尔（Brienna Hall），深入了解ASML精密设备的维护以及维修工程师的作业流程。

霍尔是ASML派驻美光的机械工程师，负责维护EUV曝光机。目前EUV单台价格约在1.7亿至3.7亿美元不等。

柯恩指出，EUV曝光机堪称现代工程奇迹，它有两点令人印象深刻：一是 ASML与德国光学公司蔡司合作研发的镜片，若将镜片放大到与整个德国同等大小，整个镜面的误差不会超过1公厘；二是EUV的精准度之高，相当于从房屋发射雷射光束，并在月球上打乒乓球。

ASML最先进的EUV设备客户，包括台积电、英特尔和三星。据悉，台积电已于去年底在新竹总部附近的研发中心安装最新的High NA EUV曝光机，比竞争对手英特尔晚几个月。

为确保这些价值连城的EUV机台正常运作，ASML聘雇上万名工程师组成全球性后勤团队协助客户。尽管有完善的支援，偶尔还是会发生突发状况，对台积电而言，地震是主要的担忧，可能导致晶圆破裂，而英特尔则担心风向变化。

英特尔先前调查曝光机产能异状时，意外发现始作俑者竟是工厂外饲养的数百头乳牛。原来，邻近农场牛群每天放屁产生大量甲烷，由于风向改变，甲烷通过空气净化器进入无尘室，进而影响曝光机效能。英特尔吸取教训，避免在牧场周边兴建晶圆厂。

柯恩强调，除了这类罕见事件外，曝光机故障率极低。若整个晶圆厂停摆，ASML已有备份应急，世界各地均有工程师常驻，全力协助客户能尽快恢复生产作业。

新闻来源：中时新闻网